Иондық сәулелік конустар

SIKAIDA иондық сәуленің конустары иондық сәулені имплантациялау және беру жүйелерінің негізгі құрамдас бөліктері болып табылады. Жоғары тазалықтағы жетілдірілген керамикалық материалдардан жасалған және дәл бүрку және жоғары температурада агломерациялау арқылы өңделген олар қоспалардың өте төмен құрамымен, жоғары температураға төзімділігімен және тұрақты өлшем дәлдігімен ерекшеленеді. Өте жоғары төзімділік талаптарын қанағаттандыру үшін оларды күрделі геометрияларға өңдеуге болады, бұл оларды өнімділігі жоғары жартылай өткізгіш иондарды имплантациялау процестеріне қолайлы етеді.

Қытайдағы кәсіпқой өндіруші ретінде SIKAIDA жартылай өткізгіш, жалпақ панельді дисплей, оптика, микроэлектромеханикалық жүйелер (MEMS) және күн энергиясы салаларында бүкіл әлем бойынша тұтынушыларға сенімді, үнемді және теңшелетін иондық сәулелік конустарды ұсынады. SIKAIDA – сенімді ұзақ мерзімді жеткізуші және жоғары сапалы иондық сәулелік процестің құрамдас бөліктеріне арналған арнайы өндіруші зауыт.

Материалдар және өндіріс

1. Материалдар

Ion Beam Cones материалдарын пайдаланады, оның ішінде тазалығы ≥99,9% алюминий оксиді (Al₂O₃), тазалығы ≥99,5% кремний нитриді (Si₃N₄), тазалығы ≥8%, 99,99%, 99,99%, цирконий оксиді (ZrO₂). Барлық материалдар жартылай өткізгіш өнеркәсібінің қатаң тазалық стандарттарына сәйкес келеді және әртүрлі қолданбалардың өнімділік талаптарына сай келеді.

2. Өндірістік процесс

Өндіріс процесі дәл бүркуді, жоғары температурада агломерациялауды, CNC дәл өңдеуді, айна деңгейінде жылтыратуды және автоматтандырылған тазалау мен сынауды қамтиды. Соңғы өнімнің салалық стандарттарға және тұтынушылардың талаптарына сәйкес келуін қамтамасыз ету үшін әрбір процесс дәлдік пен сапа үшін қатаң бақыланады.

Өнімнің негізгі параметрлері

1. Өлшем дәлдігі

Иондық сәуленің конустары ±0,05 мм шегінде бақыланатын рұқсаттарға ие, бетінің кедір-бұдыры Ra≤0,4μm, ішкі тесік конусының дәлдігі ±0,02мм, коаксиалдылық ≤0,03мм және перпендикулярлық ≤0,02мм. Бұл өте жоғары өлшемдік дәлдік иондық сәулені беру дәлдігін тиімді қамтамасыз етеді.

2. Беттік өңдеу

Беттік өңдеулерге айнаны өңдеу үшін механикалық жылтырату, бетінің қасиеттерін жақсарту үшін ультракүлгін сәулемен өңделген жабындар, тозуға төзімділікті арттыру үшін сызаттарға төзімді жабындар және қоспаларды кетіру және тұрақтылықты жақсарту үшін қышқылды тұздау және пассивация кіреді. Тиісті емдеу әдістерін қолдану талаптары негізінде таңдауға болады.

3. Өнімділік көрсеткіштері

Иондық сәулелік конустар -196℃ мен +800℃ температура диапазонында жұмыс істейді, бұл төтенше температуралық ортада тұрақты жұмысты қамтамасыз етеді. Олардың көлемдік кедергісі ≥10¹⁴Ω·см және беттік кедергісі ≥10¹²Ω, тамаша оқшаулау қасиеттерін көрсетеді. Олар сондай-ақ күрделі технологиялық орталарға бейімделуге мүмкіндік беретін плазмалық және химиялық коррозияға тамаша төзімділікке ие.

Негізгі артықшылықтар

1. Өте жоғары тазалық: Шикізат тазалығы 99,9%-дан асады, жартылай өткізгіш пластинкалардың ластануын азайтады, құрылғылардың тұрақты электрлік жұмысын қамтамасыз етеді және жартылай өткізгіш өндірісінің қатаң тазалық талаптарына жауап береді.

2. Өте жоғары геометриялық дәлдік: иондық сәулені беру жүйелерінің орнату және пайдалану талаптарына дәл сәйкес келетін ±0,05 мм шегінде конустық қате және ≤0,02 мм дөңгелектік қателігі бақыланатын, жаппай өндіріс кезінде өнімнің дәйекті өлшемдерін қамтамасыз етеді.

3. Айна тәрізді бет сапасы: бетінің кедір-бұдырлығы Ra≤0,4μm, иондық сәуленің шашырауын тиімді төмендетеді, иондық сәуленің берілісінің біркелкілігін жақсартады және жартылай өткізгіш құрылғылардың имплантация дәлдігін одан әрі оңтайландырады.

4. Кең температура диапазонының тұрақтылығы: терең криогендік және жоғары температура орталарында тұрақты жұмыс істейді. Материалдың өте төмен термиялық кеңею коэффициенті бар, ол температураның өзгеруі кезінде де тамаша өлшемдік тұрақтылықты сақтайды, температура ауытқуларынан өнімділік әсерін болдырмайды.

5. Өте жақсы оқшаулау және коррозияға төзімділік: иондық сәулені беру кезінде зарядтың жиналуын тиімді болдырмайды және күшті қышқылдарға, күшті сілтілерге және әртүрлі плазмалық коррозияға төтеп береді, күрделі технологиялық орталарда ұзақ мерзімді тұрақты жұмысты қамтамасыз етеді.

Теңшелген қызметтер

Өнім үлгілері мен өлшемдерін әртүрлі технологиялық талаптарға сәйкес реттеуге болады. Қолдау көрсетілетін сурет пішімдері STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF және физикалық үлгілерді қамтиды. Жеткізу мерзіміне келетін болсақ, үлгіні жеткізу 4-7 апта, ал партиялық өнімді жеткізу 8-12 апта. Біздің сапа жүйеміз ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH және SEMI стандарттарына сәйкес келеді, өнім сапасы мен жеткізу тиімділігін жан-жақты қамтамасыз етеді.

Қолдану аймақтары

Иондық сәулелік конустар көптеген салаларда кеңінен қолданылады, соның ішінде жартылай өткізгіштер өндірісіндегі ион имплантаторлары, жалпақ панельдік дисплейлердегі өңдеу жабдықтары, оптикалық құрылғылар өндірісіндегі иондық сәулені тұндыру (IBD) және ион сәулесін өңдеу (IBE) жүйелері, микроэлектромеханикалық жүйелер (MEMS) өндірісі, иондық қоспалар мен имплантацияға арналған имплантацияға арналған қондырғылар сияқты құрылғылар. оқшауланған биполярлы транзисторлар (IGBT) және қуатты MOSFET.

Жиі қойылатын сұрақтар:

1-сұрақ: Иондық сәулелік конустарда әдетте қандай материалдар қолданылады?

A1: Біз ең алдымен жоғары таза алюминий тотығы (Al₂O₃), кремний нитриді (Si₃N₄) және цирконий оксиді (ZrO₂) сияқты жетілдірілген керамикалық материалдарды қолданамыз. Бұл материалдар өте жоғары тазалыққа, тамаша жоғары температураға төзімділікке және тұрақты электрлік қасиеттерге ие.

2-сұрақ: UET теңшелген спецификациялар мен бетті өңдеуді қамтамасыз ете ала ма? 

A2: Иә. UET сіздің технологиялық талаптарыңызға сәйкес конустардың өлшемін, конусын, материал түрін және бетінің өңделуін реттей алады. Бізде үлкен өндірістік тәжірибе бар және тұтынушылардың қолданбалы талаптарын қанағаттандыра аламыз.

3-сұрақ: Иондық сәулелік конустардың дәлдігі мен сапасына қалай кепілдік беріледі?

A3: Біз ISO9001: 2015 сапа менеджменті жүйесін қабылдаймыз және өнімнің әрбір партиясы қатаң салалық стандарттарға сай болуын қамтамасыз ету үшін координаттарды өлшейтін машинаны, беттің кедір-бұдырын сынағышты және рентгендік флуоресцентті спектрометрді қамтитын жоғары дәлдіктегі сынақ жабдығымен жабдықталған.

4-сұрақ: Жеткізу циклі қандай?

A4: Үлгіні жеткізу циклі 4-7 апта, ал сериялық өнімді жеткізу циклі 8-12 апта. Арнайы цикл өнімнің күрделілігіне және тапсырыс санына байланысты.